濺射是一種先進的薄膜材料制備技術, 它利用離子源產生的離子, 在真空中加速聚集成高速離子流, 轟擊固體表面, 離子和固體表面的原子發生動能交換, 使固體表面的原子離開靶材并沉積在基材表面, 從而形成納米或微米薄膜。而被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料, 稱為濺射靶材。鎢靶材和鉬靶材可在各類基材上形成薄膜, 這種濺射膜廣泛用作電子部件和電子產品, 如目前廣泛應用的TFT - LCD ( 薄膜半導體管-液晶顯示器)、等離子顯示屏、無機光發射二極管顯示器、場發射顯示器、薄膜太陽能電池、傳感器、半導體裝置以及具有可調諧功函數CMOS(互補金屬氧化物半導體)的場效應晶體管柵極等 。
愛科麥可生產的鎢濺射靶材包括鎢平面靶材和鎢旋轉靶材,以配合不同型號的磁控濺射設備使用。在使用過程中,鎢旋轉靶材的利用率遠大于鎢平面靶材。
由于鎢材料加工難度較大,目前我公司可生產的鎢旋轉靶材長度限于1.2米以內。
由于使用了熱等靜壓技術,愛科麥生產的鎢旋轉靶材的密度接近理論密度,其組織均勻性及純度等指標均受到了客戶好評。
衡量靶材的質量主要因素有 純度、致密度、晶粒尺寸及分布等。在這些方面,愛科麥投入了大量的資金和精力進行研發并取得了顯著成效。并形成了具有以下特點的生產工藝(1)選擇高純鎢粉作為原料; ( 2)獨有的成形燒結技術, 以保證靶材的低孔隙率, 并控制晶粒度; ( 3)制備過程嚴格控制雜質元素的引入。(4)對部分高要求產品采用熱等靜壓方法,*大程度地獲得了鎢旋轉靶材的良好性能。 此方法制得的鎢靶材獲得了18.6以上極高密度細晶粒產品。