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    洛陽(yáng)愛(ài)科麥鎢鉬科技股份有限公司

    地址:河南省洛陽(yáng)市新安縣洛新產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)縱三路東
    郵箱:sales@achemetal.net


    電話(huà):037965190900 藍(lán)寶石事業(yè)部 (侯晶晶)
    電話(huà):037965190908 基礎(chǔ)材料及醫(yī)療事業(yè)部(朱曉靜)
    電話(huà):037965190909 核工業(yè)事業(yè)部 (楊小貝)
    電話(huà):037965190902 光伏單晶爐事業(yè)部 (李明)
    電話(huà):037965999032 濺射靶材事業(yè)部 (張春燕)
    電話(huà):037965190907 真空爐事業(yè)部 (郭雙柯)
    電話(huà):037965999691 鎢鉬合金事業(yè)部 (范朝獻(xiàn))
    電話(huà):037965190910 外貿(mào)部 (李艷艷)
    電話(huà):037965999609 外貿(mào)部 (尤瓊姬)





          

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    鎢坩堝,鎢片,鉬靶,藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng),鎢鉬合金,鎢棒,鎢板,鉬片,鉬桿,鎢鉬靶材

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    反射件

    反射件
    • 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話(huà),可以
    • 產(chǎn)品名稱(chēng):反射件
    • 產(chǎn)品型號(hào):根據(jù)客戶(hù)圖紙
    • 產(chǎn)品展商:ACHEMETAL
    • 產(chǎn)品文檔:無(wú)相關(guān)文檔
    簡(jiǎn)單介紹

    洛陽(yáng)愛(ài)科麥難熔金屬有限公司擁有車(chē)、銑、刨、磨、電加工、加工中心等各種設(shè)備,可按用戶(hù)要求加工各種離子注入用鎢反射件和鉬反射件等離子源組件。 我公司加工制作的離子注入用離子源反射件具有密度高,純度高,尺寸精度好的特點(diǎn)。

    產(chǎn)品描述

     

    反射件是離子注入機(jī)離子源的重要組件。不同粒子注入機(jī)廠(chǎng)家的反射件有不同的形狀和規(guī)格。我公司可根據(jù)客戶(hù)圖紙加工成型。由于我們生產(chǎn)加工反射件所需的鎢鉬原材料,所以除反射件尺寸精度外,產(chǎn)品性能可以得到保障。

     

    根據(jù)不同廠(chǎng)家設(shè)計(jì),反射件可能由鎢材質(zhì)或鉬材質(zhì)制成。


    離子注入是現(xiàn)代集成電路制造中的一種非常重要的技術(shù),其利用離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發(fā)射電子轟擊含有特定的雜質(zhì)元素的氣體分子,產(chǎn)生電離的特定雜質(zhì)原子經(jīng)靜電場(chǎng)加速后打到硅單晶圓片表面,并打入半導(dǎo)體內(nèi)部,改變導(dǎo)電特性并*終形成晶體管結(jié)構(gòu)。

     

    由于在離子源發(fā)生的電子轉(zhuǎn)換為電漿離子時(shí),會(huì)產(chǎn)生2000℃以上的工作溫度,離子束噴發(fā)時(shí),也會(huì)產(chǎn)生很大的離子動(dòng)能,一般金屬會(huì)很快燒熔,因此需要質(zhì)量密度較大的惰性金屬,以維持離子束噴發(fā)方向,并增加組件耐用度,鎢鉬是必選材料。由于鎢鉬材料高溫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、熱變形小和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),因此半導(dǎo)體行業(yè)離子注入機(jī)弧光反應(yīng)腔零組件及耗件多采用鎢、鉬材料制造,這些器件包括發(fā)射電子陰極的屏蔽筒、發(fā)射面板、中心固定桿、起弧室內(nèi)的絲極板等,我們統(tǒng)稱(chēng)為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件

     

    離子注入用鎢鉬零件所用材料經(jīng)過(guò)對(duì)傳統(tǒng)鎢鉬材料工藝進(jìn)行優(yōu)化,包括細(xì)晶化、合金化處理,真空燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)致密化,二次晶粒細(xì)化控軋技術(shù),普遍提高傳統(tǒng)鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能

     

    我公司生產(chǎn)的離子注入用鎢鉬零件晶粒度細(xì)化,相對(duì)密度≥99%高溫力學(xué)性能指標(biāo)比普通鎢鉬材料明顯提高使用壽命也明顯延長(zhǎng)

     

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